[1]孔令飞,戴旭涵,苗晓丹,等.一种集成型双稳态微电磁继电器工艺及动态性能的研究[J].南京师大学报(自然科学版),2010,33(03):40-44.
　Kong Lingfei,Dai Xuhan,Miao Xiaodan,et al.Fabrication Technology and Dynamic Characteristic of a New Type MEMS Bi-Stable Electromagnetic Relay[J].Journal of Nanjing Normal University(Natural Science Edition),2010,33(03):40-44.
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一种集成型双稳态微电磁继电器工艺及动态性能的研究()
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《南京师大学报（自然科学版）》[ISSN:1001-4616/CN:32-1239/N]

卷:
第33卷
期数:
2010年03期
页码:
40-44
栏目:
物理学
出版日期:
2010-09-20

文章信息/Info

Title:
Fabrication Technology and Dynamic Characteristic of a New Type MEMS Bi-Stable Electromagnetic Relay
作者:
孔令飞;戴旭涵;苗晓丹;丁桂甫;赵小林;
上海交通大学微米/纳米加工技术国家重点实验室, 薄膜与微细技术教育部重点实验室, 上海200240
Author(s):
Kong Lingfei; Dai Xuhan; Miao Xiaodan; Ding Guifu; Zhao Xiaolin
National Key Laboratory of Nano/Micro Fabrication Technology,Key Laboratory for Thin Film and Micro Fabrication of Education Ministry,Shanghai Jiaotong University,Shanghai 200240,China
关键词:
微机电系统;  电磁继电器;  碰撞;  动态测试
Keywords:
MEM S;  e lectrom agnetic re lay;  co llision;  dynam ic test
分类号:
TM581.3
摘要:
介绍了一种集成型双稳态微电磁继电器,利用金属基表面微加工技术和体微加工技术成功完成了弹簧和起气隙作用的SU-8垫片的集成制造.用Ansys和Matlab软件对其进行初步的研究设计仿真,证明了设计的可行性.并研究了该继电器的双稳态性能,分析了该微电磁继电器的动态特性,探讨了触点间产生碰撞的原因以及消除抖动的方法,为实现下一代体积更小、损耗更低、响应时间更短的继电器打下了良好的基础.
Abstract:
A new type MEMS b istab le e lectrom agnetic re lay is presented. The bulk silicon m icrom achin ing and m e tal based surface m icrom ach in ing techno logy is used to fabr icate th is actuato r. The pa ram e ters of the dev ice are optim ized by Ansys andM a tlab softw are. The feasib ility o f the b istab le cha racte ristic is also stud ied. Accord ing to the character istics o f the relay s m echan ica l system, the relays co llision time w as ana ly zed, and theory and test resu ltw ere d iscussed. It is the foundation of the next gene ra tion o fm icro relayw hich has the property o f sma ller size, low er depletion and shorter response tim e.

参考文献/References:

[ 1]T ilm ans H A C, Fu llin E, Ziad H, et a1. A fu lly??packaged e lectrom agnetic m icro re lay [ C ] / /M icro E lectroM echan ica l Sys?? tem s. IEEE: Tw e lfth IEEE Inte rnational Conference, 1999: 25-30.
[ 2]RuanM, Shen J, Whee le rC B. Latching m icro electrom agne tic re lays[ J]. Senso rs and A ctua to rs A, 2001( 91): 346-350.
[ 3]Li Deshen, Zhang Yu feng,W ang Donghong. Fabr ica tion and sim ulation o f a m icro e lectrom agnetic re lay [ J]. M ic ro fabr ication Techno logy, 2002( 3): 60-64.
[ 4]杨昊宇, 赵小林, 戴旭涵, 等. 平面线圈型MEM S微电磁驱动器的理论分析与实验研究[ J]. 传感技术学报, 2006( 5): 1 920-1 923.
[ 5]金栋平, 胡海岩. 碰撞振动与控制[M ]. 北京: 科学出版社, 2005.

备注/Memo

备注/Memo:
基金项目: 国家自然科学基金(50405013);国家“863”计划资助项目(2006AAO4Z360) 通讯联系人: 孔令飞, 硕士研究生, 研究方向: MEM S电磁器件的设计与制造. Email:skyboyklf@ 126. com
更新日期/Last Update: 2013-04-08