关键词中包括 MEM S 的文章

1 一种集成型双稳态微电磁继电器工艺及动态性能的研究 孔令飞;戴旭涵;苗晓丹;丁桂甫;赵小林; 2010年03期 [40－44][摘要](2011)[pdf 1159KB](3266) DOI: